合成石英玻璃基板的加工方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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合成石英玻璃基板的加工方法.pdf

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本发明涉及合成石英玻璃基材的加工方法。通过使作为被加工件的合成石英玻璃基板的表面与由合成石英玻璃制成的保护部件的表面接触并将合成石英玻璃基板的表面叠放在保护部件的表面上从而实现被加工件和保护部件的光学接触接合，并使切削工具通过光学接触接合表面来加工合成石英玻璃基板。这种加工方法能够有效地防止在切削操作期间在切削工具进入部和脱离部处微缺陷的产生。此外，没有使用固定剂连接被加工件和保护部件，因此生产率高，因为不需要施加固定剂和之后去除固定剂。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114474412 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202111233009.3 (22)申请日 2021.10.22 (30)优先权数据 2020-179551 202