一种用于曝光装置的对准标记及其对准方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种用于曝光装置的对准标记及其对准方法.pdf

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本发明提供用于曝光装置的对准标记系统，第一对准区域包括第一多边形和第二多边形对准后得到宽为f的第一通道；第一多边形与第二多边形为相似多边形且半径相差f；相似多边形边数为偶数2n，且n为3‑6；第二对准区域包括由矩形对准标记和内嵌对准标记对准得到的宽为f的第二通道；矩形对准标记的宽为a，高为b；内嵌对准标记包括横部区域和竖部区域，横部区域包括宽为c，厚为d的第一矩形，竖部区域包括宽为e，高为g的第二矩形，c

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114326332 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210106246.1 (22)申请日 2022.01.28 (71)申请人魅杰光电科技（上海）有限公司