清洗界面的操作方法、设备及存储介质.pdfVIP

清洗界面的操作方法、设备及存储介质.pdf

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本申请公开了清洗界面的操作方法、设备及存储介质,应用于清洗技术领域;通过采用展示等离子清洗控制界面;根据所述等离子清洗控制界面中的工单录入区域接收到的文本信息,确定待处理工单;在根据所述待处理工单确定待清洗物料的物料标识后,获取所述物料标识关联的料盒状态,并将所述物料标识及所述料盒状态显示于所述等离子清洗控制界面的预设区域;在所述等离子清洗控制界面中的放料确认按键被触发时,根据所述料盒状态以及所述物料标识生成控制指令;向清洗设备发送所述控制指令,以根据所述控制指令控制所述清洗设备对所述待清洗物料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114356179 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111585157.1 (22)申请日 2021.12.22 (71)申请人 深圳泰德半导体装备有限公司

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