光学照明装置及光学改性设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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光学照明装置及光学改性设备.pdf

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本发明公开了一种光学照明装置及光学改性设备，该光学照明装置包括线光源、光调制部件和扫描反射镜，所述光调制部件用于将线光源发出的光线调制为平行光，且匀化后形成具有设定长度的光带，所述扫描反射镜用于将所述光带反射至处理件的工作面；还包括驱动部件，所述驱动部件用于驱动所述扫描反射镜沿设定方向往复运动，所述设定方向为平行于所述工作面的方向；或者，所述扫描反射镜为球面镜，所述扫描反射镜反射至所述工作面的光线范围至少覆盖所述工作面。该光学照明装置的结构设置能够提高局部辐照能量密度，使目标工作面的不同区域受到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114325890 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111669190.2 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人拓荆科技股份有限公司