基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器.pdf

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本发明公开了一种基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器，传感器以金属铜板作为基底，在基底上蚀刻出Fano谐振器结构；Fano谐振器结构包括环状槽、设置在环状槽一侧的沟槽以及位于环状槽和沟槽之间的直通型主通道；主通道连通环状槽和沟槽，主通道穿出基底的两端；环状槽与主通道相切，沟槽正对环状槽与主通道相切的部分，且与主通道垂直；其中沟槽提供的是连续态，环状槽提供的是离散态，传感介质通过主通道进入传感器；基底上环状槽内部为蚀刻形成的铜圆柱体结构，铜圆柱体的外部依次设置有液晶内环和隔离环

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114354539 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111635543.7 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人广东工业大学地址