顶针装置及其校准方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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顶针装置及其校准方法.pdf

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本发明提供一种顶针装置及其校准方法，上述顶针装置包括至少三个顶针组件、检测单元、控制单元和多个驱动单元。其中，多个驱动单元用于一一对应地驱动各个顶针组件升降；检测单元用于检测每个顶针组件顶端的高度；控制单元用于在校准过程中，控制驱动单元驱动顶针组件由初始位置上升至取放片位置；根据检测单元检测到的每个顶针组件顶端的实际高度，计算每个顶针组件顶端的实际高度与预设高度的差值，并判断所有的顶针组件对应的差值中是否有差值不为零；若是，则根据不为零的差值，控制与该差值对应的驱动单元驱动顶针组件升降，以使该顶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334782 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111659054.5 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司