一种资源待遇分析方法、装置、设备及介质.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种资源待遇分析方法、装置、设备及介质.pdf

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本公开涉及一种资源待遇分析方法、装置、设备及介质，所述方法包括：获取不同批次lot晶圆在生产设备中的历史生产记录；将所述待分析lot晶圆到达生产设备后被加工的批次序号作为待遇数；在所述待分析lot晶圆到达所述生产设备后且被所述生产设备加工前，获取所述生产设备加工的各lot晶圆的等级，将高于所述待分析lot晶圆等级的lot数作为冲突数；根据所述待分析lot晶圆的待遇数和冲突数，确定所述待分析lot晶圆在加工过程中是否满足与该待分析lot晶圆等级相匹配的待遇要求。本公开能够实现生产调控和产能预警调控

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114331203 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210009339.2 (22)申请日 2022.01.06 (71)申请人长鑫存储技术有限公司