一种高带宽空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种高带宽空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdf

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本发明提供一种高带宽空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法。该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底、键合层、底电极、复合压电薄膜和顶电极；其中，所述顶电极、所述复合压电薄膜和所述底电极形成三明治结构；所述复合压电薄膜为若干层压电层叠加组成；所述衬底、所述键合层、所述底电极包围形成有空气腔。本发明的谐振器在给顶电极通电后，复合压电薄膜产生形变并激励出体声波，并且当所述体声波传输到复合压电薄膜与底电极之间时，由于空气腔的存在，所述体声波在底电极的表面发生全反射，并被限制在顶电极与底电极之间，形成了谐振。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114362711 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111670601.X (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人河源市艾佛光通科技有限公司