一种三自由度柔性触觉感知阵列.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种三自由度柔性触觉感知阵列.pdf

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本发明公开了一种三自由度柔性触觉感知阵列，其中每一感应单元包括：第一介电层位于第二介电层上；第一感应部，所述第一感应部包括：第一悬浮电极组，其设置在第一介电层上；第一感应电极组，其设置在第二介电层中且远离第一介电层的一面；第二感应部，第二感应部包括：第二悬浮电极组，其设置在第一介电层上；第二感应电极组，其设置在第二介电层中且远离第一介电层的一面；第一感应电极组与第二感应电极组平行设置；第一感应电极组用于检测第一方向的切向力，第二感应电极组用于检测第二方向的切向力。本发明能够对三自由度触觉力的高精

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114356150 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111458387.1 (22)申请日 2021.12.02 (71)申请人上海航天控制技术研究所