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本发明提供了一种存储器。利用位线和绝缘线界定出节点接触窗,并使填充在节点接触窗中的接触插塞还向上凸出节点接触窗,并进一步利用间隔结构间隔相邻的接触插塞,以及所述间隔结构中还形成有第一空隙,如此即有利于降低相邻的接触插塞之间的介质材料的介电常数,有效改善器件的寄生效应。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334982 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111653437.1 (22)申请日 2020.11.12 (62)分案原申请数
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