集成分子束外延的新型约瑟夫森结制备方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.17万字
约 12页
2023-05-06 发布于四川
举报
版权申诉

集成分子束外延的新型约瑟夫森结制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种集成分子束外延的新型约瑟夫森结制备方法，本方法适用于新型材料体系的高质量约瑟夫森结的制备，各真空部件通过传样杆实现互联，通过挡板阀进行隔离，实现各步骤之间的高真空有机互联，有效保证各步骤之间材料的纯度与薄膜的质量。在分子束外延腔体中添加多种束源炉，保证绝缘层材料体系的丰富性，在离子束蒸镀腔体中，采用不同种类的超导金属作为约瑟夫森结三明治结构的顶端与低端。本发明大大丰富了约瑟夫森结系统中的材料体系，又为结区的制备提供了全周期的高真空与高洁净度，极大程度提升了制得的约瑟夫森结的质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114361325 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202111575030.1 C23C 14/28 (2006.01)