一种半导体基础材料晶片陪边的挤压机构及挤压系统.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种半导体基础材料晶片陪边的挤压机构及挤压系统.pdf

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本发明公开了一种半导体基础材料晶片陪边的挤压机构及挤压系统，包括弯板、支座、摆杆、探针、探针定位组件、摆杆旋转组件和摆杆旋转角度调整组件，所述弯板下端面连接支座，探针定位组件与支座的水平段下端面固定连接，摆杆旋转组件与支座的竖直段靠近探针定位组件的一侧固定连接，摆杆旋转角度调整组件与支座的竖直段远离探针定位组件的一侧固定连接，所述探针安装于探针定位组件内，摆杆可转动安装于摆杆旋转组件，其中探针靠近摆杆的一侧，摆杆旋转角度调整组件靠近摆杆的另一侧，摆杆在探针和摆杆旋转角度调整组件之间的空间内摆动，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334746 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210024666.5 (22)申请日 2022.01.07 (71)申请人西安捷盛电子技术有限责任公司