改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法.pdf

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一种改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法；该装置包括底座、转动平台、定位柱、衬底罩和筛网，转动平台安装在底座上，转动平台上分布有定位柱，定位柱上设置有挤压机构，转动平台上设置有衬底罩，衬底罩内设置有移动筛网。预处理方法是：将甩胶后的衬底涂胶面向上置于转动平台上并用衬底罩罩住，通过挤压机构压紧衬底罩，将金刚石微粉由筛网落在衬底表面，转动平台转动；或者是将装置置于盛有金刚石微粉的容器中，按压筛网至衬底上，对容器超声振荡处理。本发明可有效降低沉积多晶由中心到衬底边缘的成核速率差与沉积速率

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114214727 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111558156.8 (22)申请日 2021.12.17 (71)申请人山东大学地址 25