检查装置的控制方法及检查装置.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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检查装置的控制方法及检查装置.pdf

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提供一种能够以能够对被检查体均等地进行加热的方式对控制指令进行校正的技术。提供一种检查装置的控制方法，该检查装置包括用于放置具有被检查体的基板的台、以及照射光以对所述基板进行加热的多个光源部，该控制方法包括以下步骤：个别地点亮所述多个光源部以取得所述基板的多个第一温度分布的步骤；取得表示所述多个第一温度分布之和的第二温度分布的步骤；基于所述第二温度分布，求出用于对从所述多个光源部之中的至少一个或多个光源部输出的光量进行校正的一个或多个校正值的步骤；以及使用所述一个或多个校正值对从所述至少一个或多

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114258164 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111087286.8 (22)申请日 2021.09.16 (30)优先权数据 2020-1613