一种扬声器的制造方法及扬声器.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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一种扬声器的制造方法及扬声器.pdf

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本发明公开了一种扬声器的制造方法及扬声器，涉及扬声器技术领域，用于在批量制造的情况下，确保每个扬声器具有较高的品质。所述扬声器的制造方法包括：提供第一半导体基底和第二半导体基底；其中，第一半导体基底具有第一键合互连面，第二半导体基底具有第二键合互连面；于第一键合互连面，刻蚀第一半导体基底，形成浅槽结构和下电极；于第二键合互连面，刻蚀第二半导体基底，形成振动结构；键合第一半导体基底的第一键合互连面和第二半导体基底的第二键合互连面；在第二半导体基底远离第二键合互连面的另一面形成上电极，以及在第一半导

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114257949 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202011024709.7 (22)申请日 2020.09.25 (71)申请人地球山（苏州）微电子科技有限公司