沉积装置、其清洁方法以及使用其形成薄膜的方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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沉积装置、其清洁方法以及使用其形成薄膜的方法.pdf

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公开了一种沉积装置、沉积装置的清洁方法以及使用沉积装置形成薄膜的方法。根据本发明一实施例的沉积装置包括：腔室；衬底固定器，布置在所述腔室内，包括衬底部以及布置在所述衬底部的两侧的第一缓冲部和第二缓冲部，并且沿第一方向往复移动；第一喷射部和第二喷射部，布置在所述腔室内，沿所述第一方向并排布置，并且向所述衬底固定器喷射气体，其中，所述第一喷射部包括分开喷射多种第一气体的多个第一喷射喷嘴，并且连接到多个第一排气部，所述多个第一排气部分别排放所述多种第一气体，以及所述第二喷射部包括向所述衬底固定器喷射第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114250449 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111085159.4 (22)申请日 2021.09.16 (30)优先权数据 10-2020-0