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本文公开了与具有直接键合界面的微电子组件的单体化相关的结构和技术。例如,在一些实施例中,微电子组件可以包括:表面,其中,导电触点在所述表面处;在所述表面的周边处的沟槽;以及在沟槽中的毛刺。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114256193 A
(43)申请公布日 2022.03.29
(21)申请号 202110981237.2 H01L 23/31 (2006.01)
(22)申请日 2
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