在相邻叠组之间包含氧化物材料的微电子装置、电子系统和相关方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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在相邻叠组之间包含氧化物材料的微电子装置、电子系统和相关方法.pdf

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一种微电子装置，其包含：包括导电材料与绝缘材料的交替层面的叠组，所述叠组包括包含延伸穿过所述导电材料与所述绝缘材料的所述交替层面的沟道材料的柱；位于相邻叠组之间且与所述相邻叠组的所述沟道材料电连通的导电触点；以及位于所述相邻叠组之间的氧化物材料，所述氧化物材料在第一叠组的最上层面与邻近于所述第一叠组的第二叠组的最下层面之间延伸。还公开了相关的电子系统以及形成微电子装置和电子系统的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114223058 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202080057034.8 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限