衬底处理装置及衬底位置调整方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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衬底处理装置及衬底位置调整方法.pdf

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本发明涉及一种处理衬底的衬底处理装置及衬底位置调整方法。本发明的衬底处理装置具备：基座，具有将圆板状衬底以水平姿势保持的保持面；旋转单元，使所述基座绕铅直的旋转轴线旋转；加热单元，加热保持在所述保持面的衬底的周缘部；偏心量测定单元，具有发出光的发光部及接收从所述发光部发出的光的受光部，在保持在所述保持面的衬底的周缘部位于所述发光部与所述受光部间的检测空间内时，测定所述衬底相对于所述旋转轴线的偏心量；定心单元，使所述保持面上的衬底相对于所述基座移动，使得所述衬底的中心部靠近所述旋转轴线；及气氛置换

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114256095 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111055253.5 (22)申请日 2021.09.09 (30)优先权数据