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本发明涉及电解制氟技术领域,提供了一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法。本发明提供的设备包括制氟电解槽、除渣装置、低压罐、HF低温冷凝系统、氟气压缩机、氟气预冷器和氟气精馏塔;氟气精馏塔的塔顶设置有塔顶冷凝器,塔釜设置有塔釜再沸器,塔顶冷凝器的出口与氟气储罐连通,塔釜再沸器的出口与氢氟酸回收装置连通;HF低温冷凝系统包括若干个串联的HF低温冷凝器,且HF低温冷凝器底部设置有HF液体出口,所述HF液体出口与HF回收装置连通。本发明提供的设备能够采用冷凝+精馏的模式对粗品氟气进行提纯,纯化效率高,且
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114198981 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111668690.4 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人 天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有
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