柔性传感层、柔性传感器的制备方法及柔性传感器.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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柔性传感层、柔性传感器的制备方法及柔性传感器.pdf

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本发明提供了一种柔性传感层、柔性传感器的制备方法及柔性传感器，涉及传感器技术领域，所述柔性传感层的制备方法包括如下步骤：利用3D打印技术制备具有多级次孔隙结构的柔性传感层基体；在所述柔性传感层基体表面增设热电材料涂层；对所述热电材料涂层表面进行等离子体处理，得到柔性传感层。本发明通过多级次孔隙结构的柔性传感层基体改变压力状态下的内部接触面积，影响电阻的变化幅度，提高柔性传感层的压力灵敏度；通过增设热电材料涂层降低温度电阻效应，减少电阻和热电电压信号之间的信号串扰；还通过对所述热电材料涂层表面进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114199426 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111467277.1 B33Y 10/00 (2015.01) (22)申请日 2