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本申请公开一种反应腔设备，其腔室内设有加工待加工件的加工位，包括同心设置的至少两个传送装置，所述传送装置均设有多个支撑部，所述加工位位于相邻两个所述传送装置之间；且相邻两个所述传送装置中，位于外侧的所述传送装置的至少一个所述支撑部与位于内侧的所述传送装置的至少一个所述支撑部组成一个支撑所述待加工件的支撑位，所有所述传送装置的所述支撑部均能够同心旋转。本申请中，反应腔设备的加工位分布于相邻两个传送装置之间，位于外侧的传送装置的支撑部，与位于内侧的传送装置的支撑部沿径向具有间距，这样支持待加工件的支
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114203609 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111523715.1
(22)申请日 2021.12.14
(71)申请人 拓荆科技股份有限公司
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