一种图形化复合衬底、制备方法和LED外延片.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种图形化复合衬底、制备方法和LED外延片.pdf

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本发明实施例公开了一种图形化复合衬底、制备方法和LED外延片。其中，衬底包括：蓝宝石衬底；多个微结构凸起，位于蓝宝石衬底上，微结构凸起包括掺氟二氧化硅，掺氟二氧化硅的折射率小于二氧化硅的折射率。本发明提供的图形化复合衬底及其的制备方法、LED外延片，在蓝宝石衬底上方制备掺氟二氧化硅材料构成的微结构凸起，由于掺氟二氧化硅材料的折射率更低，衬底与外延层材料的折射率差值更大，全反射角增大，可以提高光的提取率，提升外延端及芯片端的亮度。另外，相比于传统二氧化硅衬底材料，低折射率的掺氟二氧化硅衬底材料在相

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114203875 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111500526.2 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人广东中图半导体科技股份有限公司