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描述一种传感器(1),所述传感器由第一电极(3a)、铁电层(2)和第二电极(3b)组成。第二电极(3b)与接地线连接并且铁电层(2)设置在第一电极和第二电极(3a,3b)之间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114174786 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202080051259.2 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限
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