负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜.pdfVIP

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2023-04-25 发布于北京
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负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜.pdf

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本发明涉及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜。本发明的课题是提供能形成矩形性高的微细图案并可获得高分辨率，且即使于低温硬化时机械特性亦良好，而且高温高湿试验前后的密接力不会劣化的负型感光性树脂组成物。一种负型感光性树脂组成物，含有：(A)碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构；(B)交联性高分子化合物，含有下列通式(1)表示的结构单元，且具有会与(A)成分交联的基团；(C)因光而产生酸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114063387 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202110884911.5 (22)申请日 2021.08.03 (30)优先权数据