一种晶圆半导体生产加工用清洗装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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一种晶圆半导体生产加工用清洗装置.pdf

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本发明公开了一种晶圆半导体生产加工用清洗装置，包括工作台，所述工作台上端对称固定连接有两个安装板，两个所述安装板相互靠近的侧壁转动连接两个转轴，两个所述转轴相互靠近的侧壁固定连接有两个固定架，两个所述固定架上端均螺纹连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆下端贯穿固定架上端并固定连接有固定板，所述工作台上端开设有滑槽，所述滑槽内壁滑动连接有清洗架，所述清洗架内顶部固定连接有喷头。本发明中通过将晶圆半导体固定在固定架上，然后驱动电机转动，带动喷头来回移动，同时带动被固定的晶圆半导体转动，便于对晶圆半导体的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113996581 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202111143419.9 (22)申请日 2021.09.28 (71)申请人邱献超地址 517