全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法.pdf

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本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019186 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111410354.X (22)申请日 2021.11.25 (71)申请人北京信息科技大学地址