MEMS扬声器单元、MEMS数字扬声器及电子终端.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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MEMS扬声器单元、MEMS数字扬声器及电子终端.pdf

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本公开涉及MEMS数字扬声器技术领域，尤其是涉及一种MEMS扬声器单元、MEMS数字扬声器及电子终端。MEMS扬声器单元包括：后腔、振膜和电极；振膜设置于后腔的一侧；电极设置于振膜朝向后腔的一侧，且电极与振膜之间具有设定间距；后腔的尺寸为目标尺寸，基于目标尺寸，在MEMS扬声器单元的额定电压下，振膜被驱动至目标位置，MEMS扬声器单元的谐振频率达到目标频率。MEMS数字扬声器包括至少一个所述的MEMS扬声器单元。电子终端包括：包括终端本体以及所述的MEMS数字扬声器，MEMS数字扬声器设置在终端

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113993050 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202111408512.8 (51)Int.Cl.