形成液态硅的装置和方法.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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形成液态硅的装置和方法.pdf

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本发明涉及形成液态硅的装置，其包括用于将气体转化为高度加热的状态的设备，在该状态下所述气体至少部分以等离子体的形式存在。所述高度加热的气体引入反应空间(100)，在那里其与气态或颗粒状的含硅原料接触。该含硅原料通过具有直接通入反应空间(100)的喷嘴通道(103)的喷嘴(102)供应到反应空间(100)中。同时，将惰性气体引入反应空间(100)，以使得其保护喷嘴通道(103)的通入孔口(103a)免受源于高度加热的气体的热负荷。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114026043 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202080048895.X (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公