3D存储器的字线检测方法及存储装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于四川
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3D存储器的字线检测方法及存储装置.pdf

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本申请公开了一种3D存储器的字线检测方法及存储装置，存储器包括堆叠设置的多个字线层和位于字线层之间的电介质层；其特征在于，存储器包括台阶区和位于所述台阶区两侧的存储区，存储区包括阵列排布的存储单元串，多个字线层贯穿存储区并延伸至台阶区，多个字线层的一端通过各自对应的字线连接结构从台阶区引出；该字线检测方法包括：对存储器的存储区侧面进行处理，使字线层露出，并通过金属导电层将字线层电连接后引出至存储器表面，可以很方便的实现对存储器字线的检测。本发明所提供的方法无需聚焦离子束设备，所涉及的处理工艺成熟

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114023369 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111211875.2 (22)申请日 2021.10.18 (71)申请人长江存储科技有限责任公司