半导体设备的检测系统及检测方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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半导体设备的检测系统及检测方法.pdf

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本公开提供了一种半导体设备的检测系统及检测方法，其中，检测系统包括：抛光盘固定座，抛光盘固定座内设有至少一个出水孔，抛光盘固定座上设有抛光盘，抛光盘的表面封堵出水孔；供液通道，与抛光盘固定座的出水孔连通，用于向出水孔输送液体；供液装置，与供液通道连通，用于提供液体；检测装置，与供液通道连接，用于检测供液通道内液体的压力参数；控制装置，与抛光盘固定座、供液装置和检测装置电连接，用于根据压力参数确定抛光盘的安装状态。本公开通过设置供液通道，并通过供液通道中液体的压力来判断抛光盘的安装状态，避免因安装

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113977451 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111239151.9 (22)申请日 2021.10.25 (71)申请人长鑫