热场装载设备和半导体工艺系统.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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热场装载设备和半导体工艺系统.pdf

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本发明提供一种热场装载设备，包括工位转移底座和设置在工位转移底座上的热场传输装置，热场传输装置用于固定热场，并驱动热场相对于工位转移底座进行升降运动以及沿水平方向运动，工位转移底座用于带动热场传输装置往返于半导体工艺系统的多个工位之间。在本发明中，工位转移底座能够带动热场传输装置在不同工位之间往返，热场传输装置能够固定热场，并在竖直和水平方向运动，从而可以实现在上料区、下料区和长晶炉工位进行热场的装卸以及对热场的水平位置进行校正，进而实现了热场取放、运输过程的自动化，极大地节约了人力成本、提升了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113981527 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111232316.X (22)申请日 2021.10.22 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司