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本发明提供了一种铜靶材的清洗方法，将待清洗的铜靶材依次进行除油、除锈、醇洗以及干燥，得到洁净的铜靶材；本发明所述铜靶材的清洗方法增加了除锈这一步骤，从而达到更好的清洗效果，增加铜靶材的表面洁净度，延缓铜靶材的氧化；同时，除锈液对车削过程中嵌入螺纹内的微小铜屑具有微蚀作用，可以避免在后续溅射镀膜的使用过程中产生Particle现象；且操作简便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113976529 A
(43)申请公布日 2022.01.28
(21)申请号 202111239148.7
(22)申请日 2021.10.25
(71)申请人 宁波
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