一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置.pdf

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本发明公开了一种基于驻极体的非接触式空间位置传感装置，驻极体阵列单元包括电极，以及贴合在电极表面的驻极体薄膜，驻极体阵列单元固定于预设的探测空间内；运动单元包括驻极体介质，运动单元与探测空间内可移动物体固定连接；电位信号采集处理单元包括至少两个采集分路，任一电极均通过对应的采集分路与电位信号采集处理单元电连接；高压极化单元用于向驻极体阵列单元发射脉冲电信号以维持驻极体阵列单元的表面电位。利用驻极体薄膜以及其间形成的静电场探测空间中物体的变化，具有响应灵敏，精准度高的特点。驻极体材料成本低廉，使得

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113932836 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202010674385.5 (22)申请日 2020.07.14 (71)申请人昆山微电子技术研究院