一种高激活率掺杂氮化铝单晶薄膜的制作方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.73千字
约 7页
2023-04-22 发布于四川
举报
版权申诉

一种高激活率掺杂氮化铝单晶薄膜的制作方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种高激活率掺杂氮化铝单晶薄膜的制作方法，包括以下步骤：步骤S1、选取待掺杂的氮化铝样品，对其表面进行化学清洗；步骤S2、利用离子注入手段对清洗过的氮化铝样品进行掺杂处理；步骤S3、利用高温退火装置对离子注入掺杂后的氮化铝样品施行退火处理；步骤S4、利用化学试剂对高温退火后的氮化铝样品进行清洗，并用氮气吹干，获得高激活率的掺杂氮化铝单晶薄膜，其优点在于能够实现高质量高激活率的氮化铝单晶薄膜掺杂，操作简单，应用范围广，对体材料与薄膜材料均可实现操作、掺杂调控种类丰富，尤为适于大规模产业化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113913771 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111175926.0 C23C 14/16 (2006.01)