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本发明提供一种高激活率掺杂氮化铝单晶薄膜的制作方法,包括以下步骤:步骤S1、选取待掺杂的氮化铝样品,对其表面进行化学清洗;步骤S2、利用离子注入手段对清洗过的氮化铝样品进行掺杂处理;步骤S3、利用高温退火装置对离子注入掺杂后的氮化铝样品施行退火处理;步骤S4、利用化学试剂对高温退火后的氮化铝样品进行清洗,并用氮气吹干,获得高激活率的掺杂氮化铝单晶薄膜,其优点在于能够实现高质量高激活率的氮化铝单晶薄膜掺杂,操作简单,应用范围广,对体材料与薄膜材料均可实现操作、掺杂调控种类丰富,尤为适于大规模产业化
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113913771 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111175926.0 C23C 14/16 (2006.01)
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