一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统.pdfVIP

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2023-04-19 发布于四川
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一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统.pdf

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本实用新型公开了一种多晶硅生产用的工艺尾气过滤系统，包括过滤器筒体、过滤器滤芯、工艺尾气进料管线、过滤气体排放管线、置换氮气进气管线、置换气泄压管线、反吹氢气进气管线、安全泄压管线、过滤器压差管线以及过滤器硅粉排放口；过滤器滤芯为一组，设置在过滤器筒体的内部，通过可拆卸方式安装在过滤器上方的盖合口处；工艺尾气进料管线与过滤器筒体的下部一侧连接，将上游工艺尾气送入过滤器筒体内；过滤气体排放管线与过滤器筒体顶部连接，工艺尾气进料管线送入的上游工艺尾气，经过滤器滤芯过滤后，从过滤气体排放管线排出并送入

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215842124 U (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202122115057.4 (22)申请日 2021.09.02 (73)专利权人新疆协鑫新能源材料科技有限公