中心锚定的基于MEMS的主动冷却系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约4.99万字
约 41页
2023-04-15 发布于北京
举报
版权申诉

中心锚定的基于MEMS的主动冷却系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种中心锚定的基于MEMS的主动冷却系统，具体而言涉及一种冷却系统，包括：支撑结构；冷却元件，其具有第一悬臂区域、第二悬臂区域、在所述第一悬臂区域和所述第二悬臂区域之间的中心区域以及周边，所述冷却元件在所述中心区域处由所述支撑结构支撑，所述周边的至少一部分未被固定，所述冷却元件构造成在被致动时经历振动运动以朝向发热结构驱动流体；和孔板，其具有在其中的至少一个孔口，所述冷却元件构造成在被致动时经历所述第一悬臂区域和所述第二悬臂区域的振动运动以驱动所述流体通过所述至少一个孔口，所述孔板处于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115843171 A (43)申请公布日 2023.03.24 (21)申请号 202211661938.9 (51)Int.Cl.