一种MEMS麦克风及电子产品.pdfVIP

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2023-04-14 发布于四川
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本实用新型提供了一种MEMS麦克风及电子产品，MEMS麦克风包括外壳、内壳、基板、防水膜、MEMS芯片和ASIC芯片；基板上设有外通声孔，内壳罩设在外通声孔周围的基板上，内壳上设有与外通声孔连通的内通声孔；外壳罩设在内壳外部的基板上，内、壳之间形成容纳腔；防水膜设置于与外通声孔对应的基板上，外通声孔和内通声孔位于防水膜的两侧；MEMS芯片和ASIC芯片位于容纳腔内并固定在内壳上，且MEMS芯片与内通声孔相对应；MEMS芯片、ASIC芯片、基板依次通过引线电连接。电子产品包括产品主体和MEMS麦克

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215682630 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202121381455.4 (22)申请日 2021.06.21 (73)专利权人歌尔微电子股份有限公司