一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构.pdfVIP

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2023-04-13 发布于北京
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一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构.pdf

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本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的炉门旋转开合机构，包括：旋转驱动器；连杆模组，其与所述旋转驱动器的动力输出端传动连接；以及炉门组件，其与所述开合驱动器的动力输出端传动连接；其中，所述旋转驱动器通过所述连杆模组驱动所述炉门组件转动。根据本实用新型，其通过开合驱动器驱动炉门组件沿X轴方向往复运动，通过旋转驱动器驱动炉门组件转动，以进行炉门的开启及关闭，减小了机台的占地空间，同时以减少旋转驱动器及开合驱动器驱动炉门活动时产生的冲击力，使得炉门得到较好的缓冲，增强了结构的可靠性，从而大大提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215628289 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120702503.9 (22)申请日 2021.04.07 (73)专利权人苏州拓升智能装备有限公司