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本实用新型公开了一种无残胶的UV减黏保护膜,包括保护膜基材层,胶黏层和含氟合成树脂层,所述保护膜基材层在最底部,胶黏层在保护膜基材层上面,含氟合成树脂层在胶黏层上面。本实用新型具有优异的稳定性,耐热性和回缩性,并且一方面可以具有较大的粘结力能很好的保护半导体材料免受损伤,另一方面在经过紫外线照射后,粘结力大大下降,可以轻松剥离且无残胶,避免对后续工序造成影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215627731 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120957706.2 (22)申请日 2021.05.06 (73)专利权人 广东硕成科技有限公司
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