晶体生长用高精度数字式感应加热电源.pdfVIP

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2023-04-13 发布于北京
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晶体生长用高精度数字式感应加热电源.pdf

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本实用新型涉及一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源，包括主回路及控制回路，其特在于，内部开关电源SPOW的输出端与DSP主控制板以及高精度数字式电流、电压、功率采集板相连的供电端相连，高精度数字式电流、电压、功率采集板的数字信号输出端连接DSP主控制板，DSP主控制板还连接显示和按键单元以及IGBT隔离驱动板，IGBT隔离驱动板连接全桥逆变电路。本实用新型提供了一种专为晶体生长设计的高精度型数字是感应加热电源，除了采用DSP控制器和CPLD进行全数字式控制以外，电源内设计有高精度电流、电压、功

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215647447 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120689097.7 (22)申请日 2021.04.06 (73)专利权人巴玛克电气设备（上海）有限公司