一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环及其安装结构.pdfVIP

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2023-04-12 发布于四川
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一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环及其安装结构.pdf

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本实用新型为解决现有技术中导流挡环会改变沉积炉内温场，整体提高导流挡环上部炉膛温度，导致纵向温度梯度太小，对成砣非常不利的问题，公开一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环，其包括环本体；环本体具有锥状面的上导流面和下导流面。本实用新型还公开一种导流挡环的安装结构，包括导流挡环和导流槽。本实用新型提供一种石英玻璃沉积炉用废气导流挡环，通过对环本体上、下两个面的改进，以降低导流挡环安装后对炉膛内温场和气体流动的影响。本实用新型还提供了一种导流挡环的安装结构，可以实现导流挡环的快速安装，同时降低导流挡环对上

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215592915 U (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202121151948.9 (22)申请日 2021.05.27 (73)专利权人四川神光石英科技有限公司