一种晶圆打点设备.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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一种晶圆打点设备.pdf

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本实用新型适用于晶圆测试设备技术领域，提供了一种晶圆打点设备，包括具有内腔的机台主体、设置在内腔中的打点装置，以及设置在机台主体顶部的上盖；上盖上设有探针卡支撑台，探针卡支撑台的中部具有与内腔连通的操作口；晶圆打点设备还包括防尘盖，防尘盖用于遮盖操作口或允许操作口裸露；防尘盖包括盖板主体和安装于盖板主体上的把手，把手的握持部凸出于盖板主体的上表面。本实用新型提供的一种晶圆打点设备，可实现操作口的遮盖，避免空气内的浮尘通过该操作口进入机台主体内，进而避免了位于机台主体内的晶圆被污染。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215527679 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202121736482.9 (22)申请日 2021.07.28 (73)专利权人深圳米飞泰克科技有限公司