一种硅片双面磨削装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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一种硅片双面磨削装置.pdf

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本实用新型公开了一种硅片双面磨削装置，包括工作台、电动推杆一、支撑座和滑槽，所述工作台上端设置有所述电动推杆一，所述电动推杆一上端设置有所述支撑座，所述电动推杆一一侧设置有所述滑槽，所述滑槽内设置有支撑柱，所述支撑柱上端内部设置有电机二，所述电机二的输出轴上设置有旋转盘，所述支撑柱一侧壁上设置有液压杆。有益效果在于：本实用新型通过设置电机二和旋转盘，在磨削过程中，电机二可带动旋转盘转动，进而依靠摩擦力使硅片转动，在转动过程中，硅片的固定部位则发生改变，可使磨削头对硅片进行全面磨削，无需工期进行人

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215547351 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202121090495.3 B24B 49/12 (2006.01) (22)申请日 2