风刀装置及蚀刻装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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本实用新型提供了一种风刀装置及蚀刻装置，其中，风刀装置包括：安装架组件，安装架组件包括容纳盒体和盒盖，容纳盒体包括盒体底壁和盒体侧壁，盒体侧壁围设在盒体底壁的四周，盒盖包括盒盖顶壁和盒盖侧壁，盒盖侧壁围设在盒盖顶壁的四周，盒盖盖设在容纳盒体上，且盒体侧壁与盒盖侧壁相重叠，安装架组件具有与容纳盒体相连通的进风结构；传动组件，传动组件包括驱动部和传动带，驱动部安装在安装架组件上，传动带位于容纳盒体内且与驱动部相连；刮刀，刮刀至少部分地位于容纳盒体的外部，刮刀与传动带相连。本实用新型的技术方案解决了蚀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215508137 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202122052412.8 (22)申请日 2021.08.27 (73)专利权人苏州知睿精工科技有限公司