一种微波化学气相沉积法制备单晶金刚石用的沉积台.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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一种微波化学气相沉积法制备单晶金刚石用的沉积台.pdf

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本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种微波化学气相沉积法制备单晶金刚石用的沉积台，所述沉积台包括籽晶托、均温片、基座和支撑柱，所述基座的上顶面中心沿其中心轴方向内凹形成容纳所述均温片和籽晶托的片槽；支撑柱，所述均温片通过支撑柱设置在片槽底部；所述籽晶托、均温片、通孔和片槽均为圆柱结构或正棱柱结构，所述片槽深度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215517746 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202122181510.1 (22)申请日 2021.09.10 (73)专利权人安徽光智科技有限公司