一种靶材背板外圆排气孔的加工工装.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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一种靶材背板外圆排气孔的加工工装.pdf

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本实用新型公开了半导体溅射靶材技术领域，一种靶材背板外圆排气孔的加工工装。所述工装由装卡防护圆盘及旋转轴件、支撑底座及旋转轴套筒、以及相应的装配配件组成；装卡防护圆盘由装卡防护盘、旋转轴件、紧固螺纹孔组成，装卡防护盘与旋转轴件连接在一起，可采用单体加工成型，或焊接的方式将旋转轴件与装卡装卡防护盘焊接在一起，支撑底座由底座、支撑杆、旋转轴件套筒组成，装配配件包括旋转轴件、轴件旋转轴套筒、轴承组以及紧固螺栓；支撑底座为T型底座架，竖直板与旋转轴套筒固接；所述背板外圆排气孔的加工过程中，通过非装卡背板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215545570 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202021943926.1 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人有研亿金新材料有限公司