基于氮化硅光子晶体的光分路器.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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基于氮化硅光子晶体的光分路器.pdf

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本实用新型提供一种基于氮化硅光子晶体的光分路器，该光分路器包括：自下而上依次设置的硅层、氧化硅层及氮化硅波导层；氮化硅波导层的中间部分形成有二维氮化硅光子晶体波导，两端分别形成有光栅发射器；二维氮化硅光子晶体波导包括一列沿氮化硅波导层长度方向呈周期性排布的圆形凹槽及中间部分氮化硅波导层；光栅发射器为半圆环形的同心环绕光栅且具有两个半圆环形镂空孔。采用氮化硅材料可应用的带宽大，且两个半圆环形镂空孔设计的氮化硅光栅光学损耗小，光出射效率高；另外，光分束器可实现对片外光波的收集同时对光波传输、分光形成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215575764 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202120882537.0 (22)申请日 2021.04.27 (73)专利权人中