一种半导体芯片用等离子刻蚀机清洁装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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一种半导体芯片用等离子刻蚀机清洁装置.pdf

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本实用新型公开了一种半导体芯片用等离子刻蚀机清洁装置，包括等离子刻蚀机本体、防护罩、支撑柱和电动滑轨，所述等离子刻蚀机本体一侧设有控制面板，且等离子刻蚀机本体内部设有蓄电池，同时蓄电池一侧设有除尘机构，所述防护罩设置在等离子刻蚀机本体上方，且防护罩内部设有工作台，所述支撑柱通过焊接方式与等离子刻蚀机本体固定连接，且支撑柱顶端固定连接有顶板，所述电动滑轨设置在顶板下方，且电动滑轨与滑块滑动连接，同时滑块下方设有清洁机构。该半导体芯片用等离子刻蚀机清洁装置，设置有除尘机构和清洁机构，除尘机构除尘效果

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215508155 U (45)授权公告日 2022.01.14 (21)申请号 202122164835.9 H01J 37/32 (2006.01)