一种TFT基板制作用蚀刻槽结构.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种TFT基板制作用蚀刻槽结构.pdf

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本实用新型公开了一种TFT基板制作用蚀刻槽结构，包括蚀刻槽，所述蚀刻槽的顶端设置有盖板，所述盖板的底端固定有雾液转换板，且雾液转换板位于盖板底部呈直线阵列分布，所述雾液转换板的底端连接有导流管，所述盖板与蚀刻槽的平行面之间夹角为30度‑40度；本实用新型通过设计的盖板和雾液转换板，雾液转换板的内部装有冷却液体，使其雾气接触时进行凝结形成水滴，同时盖板呈一定斜度设置在蚀刻槽的顶端，保证其雾气凝聚的水滴进行汇流到一定位置，避免其直接下落。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496649 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202122248474.6 (22)申请日 2021.09.16 (73)专利权人福建华佳彩有限公司